惠然微电子发布国内首台 14/22nm CD-SEM 关键尺寸量测设备

惠然微电子在 CSEAC 2026 上发布国内首台 14/22nm CD-SEM 关键尺寸量测设备 eMILO-FW300，向下兼容 22nm 量产、向上支撑 14nm 研发，并同步推出光掩模版量测设备 Mask CD-SEM eMILO-FR7 与 AI-电子束量测平台 RMS。该公司称其是国内唯一自主正向研发 CD-SEM 并实现出货的企业，并与华润微电子签署战略合作框架协议推动设备国产化。