ASML、台积电、三星和英特尔支持采用12英寸光刻掩模制造AI芯片

ASML、台积电、三星和英特尔共同支持采用12英寸光刻掩模制造AI芯片。该方案旨在以更大尺寸掩模提升AI芯片的曝光效率与产能。